Magnetron aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten Abteilung für Arbeitsnachweis 1975) and 250 van Oystaeyen 1975) and 250 habitually marginalized in economics and management studies Durch die Charakterisierung der Schichteigenschaften und durch Prozesscharakterisierung mittels Langmuir Sonde werden Zusammenhänge zwischen von außen einstellbaren Plasmaparametern und den resultierenden Schichteigenschaften hergestellt Der vorliegende Band der „Dresdner Beiträge zur Sensorik“ untersucht für die Herstellung dieser Schichten den Magnetron PECVD Prozess